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Spin-coating
Auftrüpfeln.
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Spin-coating
Auftrpfeln.
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Spin Coating
Polymerlösung wird auf das Substrat gebracht und durch rasche Rotation gleichmäßig verteilt. Vor allem in der Mikroelektronik eingesetzt zum Aufbringen des Photoresists auf Si-Wafern.
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https://www.enzyklo.de/Lokal/42087
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